Description
MKS T3BIB-29916是由MKS Instruments（万机仪器有限公司）生产的高速排气节流阀，属于T3B系列产品。该系列产品以其快速响应、高精度、可靠性强等特点，广泛应用于半导体制造、平板显示、太阳能电池等领域，用于控制气体的流量和压力。
产品参数
高速排气节流阀的主要参数包括：
控制范围:节流阀能够调节的流量范围。
响应时间:节流阀从接收到控制信号到达到设定值的时间。
精度:节流阀控制流量的准确度。
耐压:节流阀能够承受的最大压力。
接口:节流阀的输入输出接口类型。
材料:节流阀的材质，影响其耐腐蚀性、耐高温性等。
产品应用
MKS T3BIB-29916高速排气节流阀主要应用于以下领域：
半导体制造:用于控制工艺腔室内的气体流量，实现精确的工艺控制。
平板显示:用于控制溅射沉积、化学气相沉积等工艺中的气体流量。
太阳能电池:用于控制PECVD等工艺中的气体流量。
其他高纯度气体处理系统:用于控制气体的流量和压力。
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