Description

605-109114-004 LAM

LAM 605-109114-004是一款用于控制和管理半导体设备的半导体控制器。它具有以下特点：

高性能：采用高性能处理器和FPGA，可实现快速、精确的控制。

多种功能：提供多种功能，包括设备控制、数据采集、故障诊断等。

可扩展性：支持多种扩展模块，可满足不同应用需求。

易于使用：提供用户友好的界面和软件，方便操作。

产品参数

型号605-109114-004

CPU类型不详

主频不详

内存不详

I/O点数不详

通信接口以太网、RS-232等

工作温度0至50°C

存储温度-20至60°C

湿度<95%

保护等级IP65

产品应用

LAM 605-109114-004半导体控制器广泛应用于各种半导体制造工艺，包括：

硅晶圆清洗

氧化

沉积

刻蚀

光刻

CMP

金属化

封装测试

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