Description
AMAT 0190-72680是一款由应用材料公司(Applied Materials,AMAT)生产的半导体制造设备的零部件。AMAT作为全球领先的半导体设备供应商,其产品线非常广泛,覆盖了从晶圆制备到封装测试的各个环节。
应用场景和功能
腔体部件:作为真空腔体的一部分,用于支撑、密封或连接其他组件。
工艺模块组件:作为工艺模块的一部分,参与具体的工艺步骤,如沉积、刻蚀、离子注入等。
测量仪器组件:用于测量薄膜厚度、掺杂浓度等参数。
其他辅助设备组件:如气体管路、冷却系统等。
具体功能包括:
支撑:支撑其他组件,确保设备的稳定性。
加热/冷却:控制工艺温度。
测量:提供工艺过程中的测量数据。
产品参数
尺寸:长度、宽度、高度等。
材料:不锈钢、石英、陶瓷等。
耐腐蚀性:耐受各种化学物质的能力。
真空兼容性:是否适用于高真空环境。
温度范围:工作温度范围。
品牌介绍
应用材料公司(Applied Materials,AMAT)是全球领先的半导体设备供应商,为全球几乎所有领先的逻辑芯片和存储芯片制造商提供设备和服务。AMAT的设备广泛应用于半导体制造的各个环节,包括晶圆制备、薄膜沉积、刻蚀、掺杂、化学机械抛光、测试等。
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