Description
0190-30354 AMAT
产品概述
AMAT 0190-30354 Producer GT UV Chamber是一款用于半导体制造的紫外(UV)腔室。它用于在光刻过程中对晶圆进行曝光。该腔室具有以下特点：
高强度UV光源
均匀的光照度
精密的温度控制
可控的气氛
产品参数
参数值
光源波长254 nm
光照度100 W/cm²
温度范围20°C至100°C
气氛氮气、氧气或其他惰性气体
尺寸1000 mm x 1000 mm x 1000 mm
重量10kg
产品应用
AMAT 0190-30354 Producer GT UV Chamber可用于各种光刻应用，包括：
晶圆图案化
掩膜对齐
曝光
显影
产品特点
高生产率
高精度
可靠性高
易于维护
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