Description

001-4130-03 BROOKS AUTOMATION

001-4130-03是Brooks Automation生产的VCE控制器，用于晶圆对准曝光系统。该控制器采用模块化设计，具有以下特点：

高性能：提供高速度的运动控制和数据处理能力

高精度：提供高精度的晶圆对准

高可靠性：采用工业级组件，可在恶劣环境下工作

易于使用：提供简单易用的界面和配置工具

产品参数

型号001-4130-03

控制类型VCE控制器

应用领域晶圆对准曝光系统

运动轴数多轴

运动精度<1μmμm

控制速度>10 m/s m/s

通信接口以太网、RS-232

电源电压24V DC V

工作温度范围0°C至+50°C°C

尺寸19英寸机架式

重量<20 kg

产品应用

001-4130-03 VCE控制器适用于各种晶圆对准曝光系统应用，包括：

光刻：将光掩模上的图案复制到晶圆上

蚀刻：去除晶圆上不需要的材料

沉积：在晶圆上沉积一层材料

XCPRO60W901-00<wbr>0
NEW FLOWSERVE 3.504 BEARING SLEEVE BRZ 836 303490KZ
Flowserve CSCPP2625ECCBS<wbr>-15 Pump Cartridge Seal 4Bolt 316 Stainless 2.625″ Shaft
FLOWSERVE GESTRA MK45-1 DN15 GM-ISO G12 (95) Kondensatablei<wbr>ter PMA 40 bar
FLOWSERVE 5946PGSE 12″ NSNP
NEW FLOWSERVE 437578-GSV PRESSURIZED SEAL 437578GSV
FLOWSERVE GESTRA:- NRS1-51 WATER LEVEL CONTROLLER: 0000392541
NEW Flowserve A2R8903-06 Pump Assembly Kit 1749388
VOGT FLOWSERVE 701 38″ E-35632R11 A105 800WP CR-13 CHECK VALVE (G3)
FLOWSERVE EEKC433346I-Q1 NSMP
Flowserve Gestra NRS 1-50 Steam Boiler Water level Limiter NRS150 24VDC
Flowserve Series 75 Actuator Model 10 755 W
FLOWSERVE NXCL12M3-18-00<wbr>200 NSNP
NEW FLOWSERVE 303490KZ BEARING SLEEVE 3.505 BRZ 836
ASCO Red Hat Flowserve Kitz Flanged Ball Valve Pneumatic Actuator 150UTBZM B050D
FLOWSERVE NORBO 40R PNEUMATIC ACTUATOR 05-RDA40-1SD0N<wbr>0-A
FLOW SERVE GEB2729352B NSNP
FLOWSERVE MDB42891033 NSMP
FLOWSERVE L277-1A-125 UNMP
FLOWSERVE 163921 1.375 REMAN
NIB Flowserve Y5FV3875M33 Carbon Insert Goulds Pump
FLOWSERVE GEB2487981B SEAL 1SGL INS CART CBR-E DURA SEAL REPAIRED
FLOWSERVE APEX4000 PNEUMATIC POSITIONER 5097854
Flowserve 930714-88 CCN66746479-00<wbr>875 14-12in 5-vane Pump Impeller
Spares kit – FLOWSERVE VALTEK Megastream DN150 6″ Control globe valve
NEW Flowserve 3.52 X 4-34″ Bronze Packing Gland for Worthington Pumps
FLOWSERVE BXQ 1.750” 5U4X TANDEM SEAL REPAIRED
FLOWSERVE 606084 REMAN