001-4130-03 BROOKS
产品概述
001-4130-03是由Brooks Automation生产的VCE控制器,用于晶圆对准机。它是Brooks Automation 4400、4420、4500、4520、9400和9600系列晶圆对准机的通用部件。
产品参数
型号:001-4130-03
品牌:Brooks Automation/PRI Automation
应用:晶圆对准机
兼容型号:4400、4420、4500、4520、9400、9600
其他参数:具体参数需参考产品手册或咨询制造商
产品应用
001-4130-03 VCE控制器用于控制晶圆对准机的运动和对准操作。它在半导体制造过程中至关重要,可确保晶圆在蚀刻、沉积和其他工艺步骤之前正确对准。
品牌介绍
Brooks Automation是一家全球领先的真空技术公司,为半导体、生命科学和其他高科技产业提供产品和服务。该公司成立于1955年,总部位于美国马萨诸塞州切姆斯福德市。
Brooks Automation的产品组合包括真空泵、控制器、阀门、泄漏检测仪器和其他组件。这些产品用于各种应用,包括晶圆制造、薄膜沉积、药物研发和分析。
Brooks Automation在全球设有办事处和制造工厂,并为客户提供全面的销售和服务支持。
Rex./ Indramat Ecodrive DKC10.3-008-3-M?GP-01VRS DKC10.3
Rex./ Indramat Ecodrive DKC10.3-008-3-M?GP-01VRS DKC10.3
Indramat AC-Servo DDS02.1-W015-D DSM2.1 DLC1.1 DDS 2.1
Indramat Power Supply,BGR NTB 02-00,259395
INDRAMAT DKC11.3-040-7-FW EcoDrive Digital Servo Drive
Rex./ Indramat Ecodrive DKC10.3-008-3-MGP-01VRS DKC10.3
Rex./ Indramat Ecodrive DKC10.3-008-3-MGP-01VRS DKC10.3
Indramat DIAX 04 Memory card HSM 01.1-FW
INDRAMAT TDA 1.3-100-3-A00 SPINDLE DRIVE Reparatur
Indramat Bedieneinheit FWA-BTM3/4-003-14VRS-NN
Indramat Interbus S,PLCB10-02-FW,266356
INDRAMAT SK3N BEDIENERTAFEL
Indramat SERCOS Interface Modul APRB02-02-FW
Rex./ Indramat Ecodrive DKC10.3-008-3-MGP-01VRS DKC10.3
Indramat Output Modul RM O-02
Indramat AC-Servo DDS02.1-W100-D DSM2.1 DSS1.3
Indramat SERCOS interface, APRB 02-02-FW,257328